Anwendung von Edelstahlrohren in der Halbleiterindustrie
Edelstahlrohre, insbesondere hochreine nahtlose Edelstahlrohre (316L, 316L EP, BA), sind ein unverzichtbares Grundmaterial in Halbleiterfertigungsanlagen (Fabs) und übernehmen hauptsächlich die Aufgaben des Transports von hochreinen Gasen, Chemikalien und hochreinem Wasser.
Die Herstellung von Halbleiterchips ist äußerst empfindlich gegenüber Verunreinigungen:
1. Partikelverschmutzung
2. Metallverunreinigung
3. Feuchtigkeitsverschmutzung
4. Kontamination mit organischer Substanz (TOC)
Selbst Verunreinigungen im Nanometerbereich können zum Ausfall des gesamten Wafers führen.
Daher muss das Transportsystem über Folgendes verfügen:
1. Ultrahohe Reinheit
2. Extrem geringe Emission von Verunreinigungen
3. Korrosionsbeständigkeit
4.Keine Partikelbildung
5. Die Fähigkeit zu langfristig stabiler Arbeit
Und elektropolierte (EP) 316L-Edelstahlrohre sind mittlerweile die gängige Lösung.
Hauptanwendungsszenarien:
1.Spezielle Gasversorgungssysteme
2. Reinstwassersysteme
3. Chemikalienversorgungssysteme
4. Vakuumsysteme
In der Halbleiterindustrie weit verbreitete Standards für rostfreie Rohre
| Name | Standard |
| Material | 316L |
| Standard | ASTM A269 |
| Ultrahoher Reinheitsstandard | SEMI F20 |
| Oberflächenbehandlung | B.A., E.P. |
| Rauheit | Ra ≤ 0,25 µm |
| Schweißmethode | Orbitalschweißen |
| Sauberkeitsklasse | Klasse 100 / ISO 5 |
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